Laboratorio B9. Películas Delgadas y Recubrimientos

Investigador Responsable: Dr. Rafael Ramírez Bon   Auxiliar: Ing. Carlos Alberto Ávila Herrera. Edificio B: Películas Delgadas y Recubrimientos. Tel Laboratorio: (442) 2119900 ext. 1566

 

Descripción del Laboratorio:

En este laboratorio se desarrollan recubrimientos avanzados de diferente naturaleza y con distinto campo de aplicación, son obtenidos mediante la técnica de Sputtering (Erosión Catódica). Los grupos principales de materiales elaborados son: Recubrimientos duros (Nituro de titanio, Nituro de Aluminio y Carbono topo diamante o DLC), recubrimientos semiconductores (Oxido de Zinc y Oxido de Zinx dopado con Aluminio) y materiales ternarios con propiedades de memoria óptica y ferro-eléctricas (Germanio: Antimonio:Telurio).

 

 

Equipos

 

1. Intercovamex Sputering V3.   Sistema de vacio con bomba mecánica Alcatel serie Pascal y Bomba turbomolecular Alcatel. Fuente de poder de DC Advanced energy modelo MDX500. Polarizadora de voltaje EMI Gencom modelo 3000R. Fuente de poder DC pulsada Advanced Energy modelo Pinnacle plus. Fuente de Arco RHK Technology modelo arc 20. Sistema automatizado para obtención de Multicapas.
2. Intercovamex Sputering V3.   Sistema de vacio con bomba mecánica Alcatel serie Pascal de bomba difusora Edwards. Fuente de poder de DC Advanced Energy modelo MDX 500. Pulsadora Advanced Energy modelo Sparc-Le 2. Fuente de radio Frecuencia Advanced Energy modelo Dressler.