PROGRAMA MAESTRIA EN CIENCIAS ESPECIALIDAD EN MATERIALES
CINVESTAV-UNIDAD QUERÉTARO

CIENCIA DE MATERIALES DE PELÍCULAS DELGADAS

Tecnología y ciencia de vacío:
· Teoría cinética de gases
· Presión
· Regímenes del flujo
· Conductancia velocidad de las bombas
· Equipos de vacío
· Alcanzando el alto vacío
· Medición de la presión.

Depósito por métodos físicos:
· Evaporación térmica
· Geometría del deposito
· Evaporación por haz de electrones
· Descarga luminosa de corriente directa
· Reacciones por el impacto de electrones
· Reestructura del plasma, estructura del plasma (continuación)
· Mecanismos de sputter
· Depósito por sputtering de aleaciones
· Deposito por sputtering de corriente directa
· Deposito por sputtering de radio frecuencia
· Magnetrón sputterring, sputtering reactivo
· Vías sputterring
· Sputtering sin electrodos
· Deposito por láser pulsado

Depósito por métodos químicos:
· Reacciones y equilibrio químico
· Cinética y transporte de gas
· Sistemas y procesos de depósito por métodos químicos

Desarrollo microestructural de películas delgadas:
· Teoría de la capilaridad de nucleación
· Modos de crecimiento, velocidad de nucleación
· Modelos atómicos
· Coalición y reducción de grupos de partículas (cluster)
· Ripening
· Microestructura de películas policristalina
· Textura cristalográfica
· Estabilidad de las multicapas
· Reacciones de películas delgadas
· Aplicaciones del diagrama de fase
· Cinética de las reacciones
· Trayectoria de difusión
· Origen y evolución de los esfuerzos en las
películas delgadas
· Adhesión y delaminación

Caracterización:
· Rutherford backscattering spectrometry
· Espectroscopia de electrones (AES, XPS)
· Reciprocal space representation of thin films
· Análisis de películas delgadas por técnicas de difracción de rayos X

BIBLIOGRAFÍA:
1. Thin film deposition-principles & practice, Donald L. Smith ( McGraw Hill, New York, 1995).
2. Handbook of thin film process technology, eds. David A.Glocker, S. Isat shah (Bristol, UK, Inst. Of Phys. Pub., 1995),
3. Thin film science for electrical engineers and materials scientist, Tu, Mayer and fildman (Macmillan press),
4. The materials science of thin films, M. Ohring (Academic press, San Diego 1992).

Evaluaciones: 3 exámenes, tareas y exposiciones.
Horas clase por semestre: 48